伴隨著半導體工業生產規模性集成電路設計的普及化,產業鏈內對生產量的標準和產品質量的需求猛增。在務必減少生產效率成本費的條件下,機器視覺技術充分發揮著必不可少的功效。機器視覺系統由工業鏡頭、工業相機、視覺光源、圖像處理系統等組成,其中視覺光源起著關鍵性的作用,市面上視覺光源有多種類型,半導體檢測有多個項目,每個項目中選用的光源也不盡相同,本文就介紹視覺光源在半導體檢測中的應用及選型。
1.選用同軸光源檢測晶圓字符:因為晶圓會反光,同軸光源可以對反光平面成像均勻;同軸光源亮度高,可以兼容二維碼、字符等多種特徵識別;同軸光路垂直性好,對錶面檢測更具優勢。
2.選用組合光源完成晶圓視覺對位:利用圓頂光源凸顯定位特徵點,使用同軸光源補光,充分解決暗影區,組合光源的均勻性好,結構架設方便。
3.使用高亮點光源完成芯片測量:高亮度、高均勻性、高性價比,清晰呈現芯片輪廓。
4.多角度環形光源完成電阻缺陷分類:電阻小,缺陷位置不確定,使用多色可以清晰識別缺陷位置,並且結構設計緊湊,易於安裝。
普密斯是一家機器視覺及工業自動化核心產品供應商,產品包括多種型號工業鏡頭、工業相機、視覺光源、顯微鏡、圖像測量儀等,不僅可以為半導體行業提供視覺檢測方案,對於汽車、五金、手機、電子等多個領域都可以提供表面視覺檢測及精密尺寸測量解決方案。
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