測量原理
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采用白光光源,將非相干光干涉和高分辨率顯微成像技術相結合形成微觀三維輪廓,采用不同測量倍率物鏡，縱向測量分辨率均可達到亞納米量級。
産品優勢
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1、納米級縱向分辨率,適合光滑表面測量分析
2、簡單、精确、快速、可重復的測量方式
3、可結合共焦顯微反射光譜測量
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緊凑的外觀設計適用於實 驗室和現場應用 |
工件臺控制測量圖像實時 顯示三維結果顯示橫截面 選取及分析 |
測量和分析軟件用戶界面 直觀易用強大的分析功能 |
應用領域
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産品參數
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