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白光干涉輪廓儀 WDI 1000,采⽤不同測量倍率物鏡,納⽶級縱向分辨率,適合光滑表⾯測量分析
測量原理
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采用白光光源,將非相干光干涉和高分辨率顯微成像技術相結合形成微觀三維輪廓,采用不同測量倍率物鏡,縱向測量分辨率均可達到亞納米量級。
産品優勢
1、納米級縱向分辨率,適合光滑表面測量分析
2、簡單、精确、快速、可重復的測量方式
3、可結合共焦顯微反射光譜測量
緊凑的外觀設計適用於實
驗室和現場應用
工件臺控制測量圖像實時
顯示三維結果顯示橫截面
選取及分析
測量和分析軟件用戶界面
直觀易用強大的分析功能
應用領域
産品參數
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