點光譜共焦測量顯微系統,點光譜,測量顯微系統

點光譜共焦測量顯微系統適合於測量高度、平面度、段差、輪廓度、厚度等特色功能：顯微鏡高速自動對焦測應用，是一種可達次級微米級的非接觸式位移量測系統

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産品介紹

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點光譜共焦測量顯微系統是一種可達次級微米級的非接觸式位移量測系統，對於表面漫反射或鏡反射之物體乃至透明材質皆可測量其位移或厚度，基於出光與回傳訊號路徑同軸之特徵，點光譜共焦測量顯微系統亦適合於深孔/盲孔工件的量測應用。

産品特點

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1. 物鏡可以選用獨立接口，也可以選用6孔鼻輪模組連接；

2. 對國內外主流物鏡均可適配；

3. 光譜共焦模塊結構簡潔，測量精度高、速度快；

4. 最適合對觀測面反射率高的表面使用，對透明物體表面同樣適用；

5. 光譜共焦模塊測量與主成像光路共軸，不存在遮攩問題，且對焦檢測光斑小，可以對槽、孔、凹坑等區域精準測量；

6. 支持微分干涉觀測方式；

7. 可以與運動控制單元整合實現高速精準對焦。

應用領域

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廣泛應用於電子、半導體、面板、設備等行業。測量高度、段差、厚度、平面度，玻璃、陶瓷、鏡面金屬的輪廓，如手機、PCB、鋼化玻璃屛幕保護膜、半導體晶片。

産品參數

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産品尺寸圖

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