PMS-MHCC-APO-1100
點光譜共焦測量顯微系統（壓電）PMS-MHCC-APO-1100的光譜共焦模塊測量與主成像光路共軸，不存在遮擋問題，且對焦檢測光斑小，可以對槽、孔、凹坑等區域精準測量。
產品介紹
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點光譜共焦測量顯微系統（壓電）的光譜共焦模塊測量與主成像光路共軸，不存在遮擋問題，且對焦檢測光斑小，可以對槽、孔、凹坑等區域精準測量，可以與運動控制單元整合實現高速精準對焦
產品優勢
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1. 物鏡可以選用獨立接口，也可以選用6孔鼻輪模組連接;
2. 光譜共焦模塊結構簡潔，測量精度高、速度快;
3. 最適合對觀測面反射率高的表面使用，對透明物體表面同樣適用;
4. 對國內外主流物鏡均可適配使用；
5. 光譜共焦模塊測量與主成像光路共軸，不存在遮擋問題，且對焦檢測光斑小，可以對槽、孔、凹坑等區域精準測量；
6. 支持微分干涉觀測方式。
應用領域
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廣泛應用於電子、半導體、面板、設備等行業。測量高度、段差、厚度、平面度，玻璃、陶瓷、鏡面金屬的輪廓，如手機、PCB、鋼化玻璃屏幕保護膜、半導體晶片。
產品參數
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